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400-8686-737

EDP系列 低压隔膜阀

• 适用于超高纯气体、特殊气体

• 极少颗粒产生

• 密封性好

• 耐腐蚀性强

• 阀体材料：316L、316L VAR、316L VIM-VAR 符合 SEMI F20

• 本体尺寸：1/4"-1/2"

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产品参数

• 工作压力：145psig ( 10bar )

• 工作温度：-10-80℃ ( 14-176℉ )

• 驱动压力：60-90psig ( 6-8bar )

• 膜片材料：镍钴合金

• 本体尺寸：1/4"-1/2"

• 连接方式：卡套、可旋转ECR内外螺纹、焊接、公头ECR

• 阀体材料：316L、316L VAR、316L VIM-VAR 符合 SEMI F20

• 密封材料：PCTFE、Vespel® 、PFA

• 阀体泄漏率(向内泄露)：1.0x10-10 Pa·m3/s 以下

• 阀体泄漏率(向外泄露)：1.0x10-10 Pa·m3/s 以下

• 循环寿命：400W次以上

• 阀门内部流道：电解抛光处理 Ra≤0.13μm、Ra≤0.25μm

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